廢氣處理設備對高濃度廢氣進行預處理，為防止有機廢氣處理係統爆炸事故，要對高濃度廢氣進行預處理，降低排入廢氣處理係統的可燃物濃度，如對反應釜廢氣排放口設冷卻或冷凍回收裝置，或活性碳纖維吸附回收裝置;禁止高於爆炸下限的可燃蒸汽和可燃氣體排入廢氣管道係統。在廢氣係統設計前，要對各廢氣吸入點的可燃物濃度進行檢測分析，控製各廢氣吸入點的易燃物質的濃度低於爆炸下限，並要進行正常工作狀態或非正常工作狀態下的可燃氣體濃度檢測。

當某廢氣吸入點各種工況可能吸入的可燃物濃度超過安全濃度時，要改變工藝或設備，如補充新風或進行惰性化處理。對可能會產生廢氣濃度接近爆炸下限的廢氣支管道設置在線可燃氣體濃度檢測報警器和新風補充設施，在線可燃氣體濃度檢測報警器應和新風補充設施聯鎖。反應釜應盡可能采用密閉式，避免有空氣(氧氣)進入反應釜和廢氣管道，降低高濃度廢氣中氧氣含量，當然能惰性化(如充氮)更好。

廢氣處理設備對高濃度廢氣進行預處理，對各車間內產生的廢氣進行分析，存在禁忌物質的廢氣應分開處理。當廢氣管道內可能沉積危險物質時(如活性碳、疊氮化合物等)時應考慮對廢氣管道進行定期清洗。在廢氣管道設計、安裝時須應考慮有一定的斜度，方便積液的排除，避免積液積聚過多而導致廢氣管變形和殘留的混合物過多，引起二次爆炸;並對廢氣總管內的積液進行定時排液。廢氣管道在各危險點(如支管接入總管處)設泄爆板，以減少爆炸氣體大量回衝反應釜，產生連鎖反應。

有機廢氣淨化裝置采用的是吸附法和冷凝法組合的方式淨化有機廢氣。充分發揮兩者的優點淨化效率高，把它們的弊端進行可利用的轉化，對吸附物的再生處理利用低溫水蒸氣脫附，恢複吸附體的活性，對脫附下來的有機物回收利用。對於有機廢氣的淨化這是目前比較好的治理方法。

處理過程可分為三個階段：

1、用顆粒狀或者纖維狀的活性炭來充分吸附廢氣中有機成分的分子，當吸附到一定的飽和度時即停止吸附;

2、開始時是利用飽和低壓水蒸氣去加熱吸附飽和的活性炭，將被吸附的有機成分氣化而從活性炭中脫附逸出。恢複活性的活性炭即可以重新吸附有機成分的氣體分子;

3、之後便是對脫附出來的有機成分的氣體進行冷凝，使其液化，與水自動分層後回用。